MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
¹øÈ£ »çÁø Àåºñ¸í ºÐ·ù Àåºñº¸±â ¿¹¾à½Åû
12 ¿°±â½Ã¾àº¸°üÇÔ OTHERS
11 »ê½Ã¾àº¸°üÇÔ OTHERS
10 ³ÃÀå½Ã¾àº¸°üÇÔ OTHERS
9 DEEP TRENCH RIE II ETCHING
8 È­°ø¾àǰ OTHERS
7 EVG Aligner PHOTO_LITHOGRAPHY
6 Electroforming(Cu) DEPOSITION
5 °æ»ç³ë±¤±â PHOTO_LITHOGRAPHY
4 ¹Ù¿ìó ¿¬Ã˺ñ OTHERS
3 Oxford-ICP II ETCHING
2 Maskless PHOTO_LITHOGRAPHY
1 EVG wafer bonder ASSEMBLY
   
 
    [1][2][3]