MICRO/NANO FABRICATION
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2012-01-16
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2012-01-16
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2011-11-16
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2011-11-15
www.micro-nano.re.kr
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LPCVD(LTO, Low Stress Nitride) ÀåºñÁ¡°Ë ¾È³»
LPCVD(LTO, Low Stress Nitride) Àåºñ Á¡°ËÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© »ç¿ëÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. ¢Ñ ±â°£ : 1¿ù 16ÀÏ(¿ù) ~ 2¿ù 3ÀÏ(±Ý) »ç¿ëÀںеéÀÇ ¾çÇØ ºÎʵ右´Ï´Ù.
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